本报讯（记者张文湘）在全球半导体行业竞争日益激烈的背景下，上海万业企业股份有限公司（以下简称“万业企业”）于12月18日发布了重磅消息。旗下的上海凯世通半导体股份有限公司（以下简称“凯世通”）成功向一位新签的集成电路战略客户交付了一台超低温离子注入机。这一交付不仅是该客户自一个月前收到首台低能大束流设备的延续，更代表着凯世通在集成电路重大装备国产化与产业化方面的新突破。

　　众所周知，离子注入机是芯片制作的完整过程中不可或缺的关键设备。凯世通专注于为集成电路行业提供高性能、稳定可靠的离子注入设备及技术解决方案。这一年以来，该公司持续发力，累计交付超过二十台高端离子注入机，并为十一家12英寸晶圆厂提供产业化大生产服务，这显示了其在行业内的坚实地位及影响力。

　　凯世通研发的超低温离子注入工艺的技术方面的要求极高，大多数都用在晶圆的预非晶化处理。这一工艺能够显著减少晶体中的缺陷，降低漏电流，从而极大提升晶体管的整体性能。有必要注意一下的是，凯世通在此项技术上取得了显著的进展，通过自主创新攻克了超低温晶圆冷却、回温技术和颗粒污染控制等多个关键技术，成功研发出超低温低能大束流离子注入机。

　　这款离子注入机可以在零下100℃的环境下进行预非晶化离子注入，其高可靠性和高均匀性正好满足了当前主流晶圆厂对于高效批量生产的需求。可见，凯世通的技术实力不仅推动了企业的发展，也为提升国内半导体产业的科学技术水平作出了贡献。

　　随着全球芯片产业链的重组与发展，国产装备的崛起显得很重要。万业企业和凯世通正凭借着强大的研发技术能力和市场洞察力，朝着促进国内半导体产业自给自足迈出了重要的步伐。能预见，在不久的将来，更多高端半导体设备将开始在国内落地，实现技术自立自强，进一步助力我国在全球科学技术竞争中的进程。返回搜狐，查看更加多